드라이 에치 장비의 플라즈마 기인성 고장사례 분석

Abstract

제조 산업분야에 속해있는 모든 회사에서는 제품의 품질과 생산성을 향상시키기 위하여 다양한 연구와 노력을 기울이고 있다. 소비자의 요구를 충족시킬 수 있는 품질과, 소비자의 수요를 감당할 수 있는 생산성을 갖춘 회사야말로 장기적인 관점에서 회사의 경쟁력을 확보할 수 있기 때문이다. 국내에서도 이미 여러 기업에서 품질 향상을 위해 “6시그마(Six sigma)", "TQM(Total Quality Management)", "분임조 활동”을, 생산성 향상을 위해 “TOC(Theory of Constraints), "MRP(Material Requirement)"를 실시하고 있다. 이와는 별개로 품질 및 생산성을 동시에 향상시키기 위한 설비적인 관점에서의 각종 노력이 필요하다. 실무적인 내용을 살펴보면 고질적인 장비의 고장, 여러 원인에 의한 장기적인 장비의 고장 등, 설비적인 불완전 요소로 인한 낮은 생산 가동율로 인하여 품질 및 생산성이 저하되기 때문이다. 본 논문에서는 본인이 담당하는 TFT-LCD 제조공정 중 Dry Etch 설비의 생산 가동율을 높이기 위하여, 설비의 Loss Time 중 설비적인 관점에서의 Break Down Mainterance(설비 고장으로 인한 가동중지) Time 절감을 위해 각 Plasma Mode별 Dry Etch 설비의 고장내용을 조사 및 분석하였다. 이를 통하여 각 유형별 고장, 발생빈도, 유형별 고장 건당 고장시간 등을 파악하였으며, 각 Plasma Mode Concept 별로 비교 분석을 통해 고장 건당 고장시간이 긴 순서로 정리하였다. 이를 토대로 우선적으로 해결해야 할 장비고장 유형을 선별할 수 있었다. 설비의 생산 가동율을 높이기 위한 목적으로 설비고장 유형의 원인파악 및 근본적인 대책을 마련하는데 있어서 기초적인 자료로 사용될 수 있도록 조사하였다.