가공물의 진원도 측정을 위한 다자유도 회전오차운동 보상시스템 개발

Abstract

진원도는 원형 가공품의 가공 정도를 판단하는 중요한 파라미터로써, 진원도 측정기는 매우 정밀한 측정 장비이며 고성능의 회전장치를 기반으로 한다. 하지만 나노수준의 정밀도가 요구되어짐에 따라 회전장치의 고사양화 만으로는 한계를 가진다. 따라서 측정정밀도를 높이기 위해 여러가지 진원도 측정 및 회전장치의 회전오차운동을 측정하여 보상하는 기술들이 연구되고 있다[1,2]. 실시간으로 회전 거동을 측정 가능하고, 기준물의 형상성분을 제거하여 고정밀의 회전오차운동을 획득할 수 있는 푸리에 급수 기반 멀티프로브 오차분리기술이 제안되고 있다. 더불어, 멀티프로브 오차분리기술의 큰 문제점이 었던 고조파 변조 현상을 회피 가능한 멀티프로브 오차분리기술이 개발되었다[3]. 따라서, 본 연구에서는 이를 위해, 실시간 측정이 가능한 장점을 가지 는 멀티프로브 기반 오차분리기술을 적용하여 회전기기의 5자유도 회전오차운동 측정시스템을 개발한다. 개발된 회전오차운동 측정시스템의 진원도 측 정기에 대한 적용성을 검토한다.