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E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작기법

Title
E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작기법
Other Titles
Fabircation Method of 3-Dimensional Air-bridge Structure using E-beam Lithography
Author
정희준
Issue Date
2008-12
Publisher
한양대학교 이학기술연구소
Citation
이학기술연구지, v. 12, Page. 9-13
Abstract
본 실험에서는 E-Beam lithography 기술을 이용해서 3차원 구조물인 air-bridge를 제작해 보았다. wafer에 서로 다른 민감도를 지닌 PMMA를 다층구조로 쌓아올린 후 다양한 dose 값의 노광을 통해 bridge 형태의 구조를 제작하였다. 또한 설계된 디자인으로 patterning후에 한번의 Au, Cr 증착을 통해 bridge를 완성하였다. 본 연구에서 사용된 제작 방법을 통해 기존의 방법보다 빠른 진행과정으로 보다 신뢰성 있는 air-bridge를 완성하였으며 다양한 형태의 복잡한 구조물에 응용 가능함을 알게 되었다.
URI
https://www.earticle.net/Article/A106279http://repository.hanyang.ac.kr/handle/20.500.11754/105191
ISSN
2005-9051
Appears in Collections:
COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY[E](과학기술융합대학) > APPLIED PHYSICS(응용물리학과) > Articles
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