Browsing byAuthor문진옥
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017-08 | 웨이퍼 표면 평탄화 특성 향성을 위한 절연막과 텅스텐 연마 공정용 나노 입자 슬러리 설계 | 문진옥 |
| 2013-02 | 화학적 기계적 평탄화 공정 중 세리아 파티클과 폴리우레탄 패드 표면 간의 흡착 증진을 통한 단차 제거 속도 향상 연구 | 문진옥 |
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| 2017-08 | 웨이퍼 표면 평탄화 특성 향성을 위한 절연막과 텅스텐 연마 공정용 나노 입자 슬러리 설계 | 문진옥 |
| 2013-02 | 화학적 기계적 평탄화 공정 중 세리아 파티클과 폴리우레탄 패드 표면 간의 흡착 증진을 통한 단차 제거 속도 향상 연구 | 문진옥 |
