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Issue DateTitleAuthor(s)
2011-02Observation of pressure gradient and related flow rate effect on the plasma parameters in plasma processing reactor이효창
2012-08RF 바이어스 유도결합 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수와 전자 수송 가열에 관한 연구이효창
2012-04Variation of the electron energy distribution with He dilution in an inductively coupled argon discharge이효창
2009-02유도 결합 이온 에칭 장치에서의 임피던스 전이와 전자 공명 현상이효창
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