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Browsing byAuthor오혜근

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Issue DateTitleAuthor(s)
2003-12복합적인 레지스트 패턴 붕괴현상의 역학적 해석오혜근
2002-09신경망을 이용한 공정 오차 보정오혜근
2002-09패턴 Top Rounding 효과를 고려한 패턴 붕괴 전산모사오혜근
2002-01화학 증폭형 감광제의 전산모사를 위한 PEB 변수 추출오혜근
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