Browsing byAuthor박진구

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2013-09Wafer-scale nanowell array patterning based electrochemical mpedimetric immunosensor박진구
2013-12Wafer-scale nanowell array patterning based electrochemical mpedimetric immunosensor박진구
2003-04나노 Imprinting 을 위한 몰드 제작에 관한 연구박진구
2002-05다이아몬드 CVD 증착에 의한 세라믹 CMP Conditioner의 Conditioning 거동박진구
2013-08듀얼 디퓨저 리소그래피를 이용한 3 차원 마이크로 구조의 제작박진구
2004-06레이저 충격파 클리닝 공정에 있어 자외선의 영향박진구
2005-09마이크로 구조물 형성을 위한 핫 엠보싱용 플라스틱 스탬프 제작박진구
2012-08미세금형 가공을 위한 전기화학식각 공정의 유한요소 해석 및 실험결과 비교박진구
2012-09미세금형 가공을 위한 전기화학식각 공정의 유한요소 해석 및 실험결과 비교박진구
2005-07부식방지제(BTA)가 첨가된 Cu CMP 슬러리에서의 연마거동과박진구
2010-05스테인레스 스틸 미세구조 제작에 대한 연구박진구
2005-11실험 계획법을 이용한 점착방지막용 플라즈마 증착 공정변수의 최적화 연구박진구
2006-12연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가박진구
2014-07이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발박진구
2013-12이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발박진구
2000-03접촉각 측정과 AFM/LFM을 이용한 불화 유기박막의 특성 평가박진구
2012-03텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가박진구
2012-03텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가박진구
2015-09포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구박진구
2015-08포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구박진구
2010-11플렉시블 스테인레스 스틸의 미세구조 제작과 표면 특성 연구박진구
2005-03핫 엠보싱용 점착방지막으로 사용되는 10 nm급 두께의 Teflon-like 박막의 형성 및 특성평가박진구

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