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Browsing byAuthor박진구

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2006-12연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 평가박진구
2014-07이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발박진구
2013-12이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정 개발박진구
2000-03접촉각 측정과 AFM/LFM을 이용한 불화 유기박막의 특성 평가박진구
2012-03텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가박진구
2012-03텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가박진구
2015-09포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구박진구
2015-08포토마스크 펠리클 제조를 위한 Aluminum Frame 표면 세정공정 연구박진구
2010-11플렉시블 스테인레스 스틸의 미세구조 제작과 표면 특성 연구박진구
2005-03핫 엠보싱용 점착방지막으로 사용되는 10 nm급 두께의 Teflon-like 박막의 형성 및 특성평가박진구
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