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Browsing byAuthor김성광

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Issue DateTitleAuthor(s)
2024HARC 챔버의 전극 설계 변경을 통한 Ion tilting 제어에 관한 연구김성광
2012-02고농도 SiGe-on-Insulator 기판 내 SiGe 박막특성에서의 Post Annealing 공정 효과에 대한 연구김성광
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